长胜投资集团开过动员会之后，相关各单位就立刻行动来起。们他 是还选择长胜精工的实验车间为研发基地，为因目前有只这里，才有⾼精度的机加工能力，也有只这里，才符合这些设备安放的条件。
郭东算是这里的地主，是于他就自然而然的成为此次研发任务的领头人。然虽 们他 经已成立了立独的机械研究院，但们他还在这里办公，也可以称得上是主人。
是还老规矩，研发之前先开会，郭东作为主人在椭圆形的会议桌档头，其他人就分列两边。这个位置平常是老板坐的，今天他能坐这个位置开会，郭东感到很奋兴。“咳咳”他首先清了清嗓子，才用愉快的语气道说：“各位导领，们我先做下一简单的分工么怎样？”
“么怎分工呢？”化学研究所的王波和他
，此因他先开口道问。“我是样这想的，两样设备，们我分作两组讨论。
据所占的技术比重，们我每组选出个一领头的。首先，光刻机研制组。由们我、软讯公司、电子研究所、光学研究所、化学研究所负责研制，这个设备们我所占比重最多，我就领头，大家认为么怎样？”
卢汝成和洪涛两人，本来前以就是他的部下，此因 们他俩人都有没反对。光学研究所和化学研究所，说实话在光刻机中所占的技术比重真不大，此因 们他也有没反对。
“同意”几个人都表示赞同。
“那好，光刻机研究组就么这定了，待会儿们我再开会具体的讨论技术细节。至于离子注⼊机，则纯粹是个一物理原理，我提议由物理研究所导领研制，大家认为么怎样？”
郭东又提出了离子注⼊机研制组的负责人人选，没办法，谁让他坐在主席位呢？他不牵头他肯定其他人都不会说。
这次就有没人出言支持他了，但也有没人反对。等了几分钟，郭东见有没人发言，就接着说：“那就样这吧！们我分开讨论。们你放心，离子注⼊机研制组，们我也会派机械工程师参加的。”
完说他就站来起，然后对在坐的其它几位负责人道说：“卢总、王所长、洪所长、胡所长们我到隔壁的办公室去讨论具体的技术细节吧！们你的位子让们你的技术员填补。们我两边分开讨论，互不⼲扰。”
“郭院长有令，我定一坚决执行。”洪涛开了个小玩笑，然后他也站来起对坐在旁听席的张东方说：“张东方，你来代替我坐这里开会。”
“哈哈”在座的人都出发了善意的笑声，手上也有没闲着，其它几位也找了人代替己自。有只郭东的手下例外，他有没坐郭东的位子，而是坐到会议桌离主席位最远的位子。他有自知之明，道知那个位子是不他坐的。
物理研究所的所长叫王卫红，凭他的名字，一看就道知是60年代出生的人。他是来后沈丹青对研究所的改⾰，而竞选成功的。说实话，他的资历是在座的负责人当中是最低的。但他初生牛犊不怕虎，否则也不可能竞选成功。他等郭东们他几位走后，就转到主席位坐定道说：“然虽我道知我资历最浅，但事情总得有个挑头的，大家又有没反对，我就厚颜当这个组长了。”
“啪啪啪！”这时，会议桌上的人始开有人给他鼓掌了，是都刚刚代替的人，们他 是不 个一级别，此因 有没人得觉不妥，反而得觉他很有魄力。
离子注⼊机研制组的人然虽不太齐心，但总算是开了个一头。另一边的郭东几人来到郭东他的办公室后，郭东请们他落坐，然后亲自为们他泡了茶。
“郭院长，客气啦！客气啦！还劳你亲自泡茶。”王波接过郭东的茶，嘴上客气道。
“这是不应该的吗？难道我去你那里你还不给我泡茶。”郭东也客气的回应。
卢汝成和洪涛则大大咧咧，就像理所当然的一样接过茶就喝，们他在起一共事几年了，早就有没了生疏感。有只光学研究所的胡所长比较拘谨，他也是新竞选上来的，而其他几位则是老板亲自提拔的，此因他自认⾝份比们他低一头。
“嗯！”郭东哼了一声，就始开讲话了：
“光刻机据我的了解，们我 经已将前期的技术难点经已解决了，在别人看来很难的问题，们我就要只组装了，唯一⿇烦是的后期的实验数据采集，但有没难度了，是只要花时间。”
讲到这里，他就问卢汝成：“卢总，数控部分，们你能解决吧！”
“没问题，这个数控系统比数控机
简单多了，有只几个直线动作和机械臂的输送动作的协调，们我几天就可以解决，是只数据采集要花点时间，我打算要学员们⼲，让们他历练历练。”卢汝成表示很简单，他还打算要只学员们⼲，当然们他得把关。“那就好，们你没问题，就的真没问题了。我先和大伙说说我对光刻机的设想，据我所知，光刻机
据曝光方法的不同分为：接触式、非接触式和聚焦式三种。接触式是前以的老方法，缺点太大，我就不讲了。聚焦式然虽更先进，但难度也最大，们我目前还有没这个需要，可以做为后以的研究课题。了为赶时间，我打算这次就采取非接触式，符合们我目前的制程工艺，最⾼精度可以达到二十纳米以內，目前来讲完全⾜够了。相反，们我的
片设计还没赶上来，这次就只试制十六位元的片，精度要只达到u米级就够了，洪所长们你扯后腿了啊！”郭东又开了洪涛的玩笑，不过这却是实情。洪涛也很无奈，
片设计很复杂，需要大量的练人手。跟老板说得一样，要设计纳米级片，至少得有几千练电子工程师，否则想都不要想。想到这些，洪涛接过话头道说：“目前们我只能设计一些简单的
片，连32位元的片都要花大量时间才行，至少一年计，们我的练人手太少了，实在没办法。老板也道知
们我是短板，此因我还被老板批过。唉！”“好啦！既然老板经已批评了，们我就不批评你了。”郭东又小小的开了一记玩笑，然后正式道说：“非接触式光刻的技术要点就是
光头、掩模板有还基片要无限接近，最好只相差几个纳米，样这才能保证最大的精度。是这属于一种1:1投影技术或者说光刻技术，对掩模板的制作要求常非⾼，卢总，能不能将设计图进行电子图缩小？而是不光学缩小？”“理论上是可以的，们我 量尽想办法，也就是说们我
本不搞纸质图纸了，直接用电子图纸投影曝光？”涉及到他的专业，卢汝成想也没想就回答了。这时洪涛也获得了灵感，此因接过了话头道说：“我打算采用
晶投影技术，晶是一种分子级别的化合物，要只
们我技术⾜够，那么控制精度可以无限小，我相信它能够很好的解决1:1电子图形缩小问题。们我就不走国外那套老路了，那样太复杂，且而精度不够。”“也有只你才道知国外是么怎搞的，们我从来是都 己自搞己自的，不也很好吗？要只 们我达到了目的就够了。”
这时王波也揷话道说，他对国外是么怎搞是的真不懂，他的话有没半句⽔份。
“洪所长这个主意很好，样这电子图形缩小就没问题了。”卢汝成对洪涛的办法不由拍案叫绝。
“样这 们我是是不可以取消掩模板呢？”
郭东提出了个一大胆的设想。
“当然不行，
不能代替掩模板，为因晶屏是通过光的偏振原理，来实现图像显示的。它本就不可能实现，⾼精度光刻，不过们我可以试一试，让晶屏代替光刻机，给掩模板显影电子图形，如果能够做到，也是一种了不得的进步，能节省很多步骤。不过们我必须研究出一种，对光常非敏感的光刻胶。在化学蚀刻的时候，又能有效的保护未被光照的镀铬层。”
“王所长，这点们你能解决吧！”洪涛先给郭东解释了
晶原理，然后又问王波道。“没问题。自从研究光刻胶以来，们我 经已研究出多种光刻胶了。是都分别针对不同的物质，给掩模板用的光刻胶，们我 经已研究出来了。效果么怎样？要试试才道知。”王波给予了肯定的回答。
“那太好了，那们我就试试吧！”郭东
动说的道由于这次用途的特殊原因，们他不需要复杂的
晶技术，只需要第一代晶技术，即tnlcd。就是简单的黑⽩屏，⽩光就是电路图，如果掩模板与晶屏隔得⾜够近说的，也可以留下満意的电路图形。有还一点与普通的
晶屏不同，这里的背景光源是強光源，他是不给人看的，而是专为掩模板曝光的。当然缺点也很明显，由于
晶分子的大小原因，精度不够，此因不适合纳米级片技术，是这
们他
来后经过实验，才明⽩这个道理的。… Ｎ6ｚＷw.ＣｏＭ