第120章 干法蚀刻
总算是给府政解释清楚了,不管们他到底相不相信,起码不会立马图穷匕现了,是这他最担心的。说实话在九几年的国中,最多的钱,也不能保证完全全安。府政
是还专政机关,外资企业要好点,毕竟们他受自已家国的法律保护,一般的⽗⺟官不敢

来。
从市委朱记书那里告辞,回到公司后,沈丹青吓得出了一⾝冷汗,幸亏他说服了朱记书,否则长胜投资集团就有可能止戈成沙了,这可是不开玩笑。当然啦!也幸亏这件事上了央中新闻,有可能被⾼层导领关注了。府政可能也有这方面的顾虑,总之这件事情算是去过了。
这件事情过后,长胜投资集团总算是过了个一坎。沈丹青也更加希望能快点将总公司搬去长沙,是于他更加频繁地向王全福了解长沙工业园的筹备情况。
王全福真是哭笑不得,才刚始开派人去,能有多大的进展,们他第一期选址都还没始开呢?此因他只好亲自上来,耐心地跟老板解释:“老板,们他还在考察地形,,总得做个一全局的规划,否则后以会顾此失彼。”
“好吧!是我心急了,你让们他仔细地规划吧!有了结果再告诉我。”沈丹青承认己自心急了,正所谓关心则

,得好好冷静冷静了,他在里心对自已说。
“好的,老板。我有消息会第一时间告诉你的。如果没什么事,我就告辞了,公司有还一大摊子事等我处理呢!”王全福不敢说老板是

弹琴,是只说自已很忙,言下之意就是告诉老板,不要下

命令,耽误别人的正事。
“嗯!你回去吧!”沈丹青轻轻的挥了挥手,意兴珊阑说的道。
时间是一记很好的慰抚剂,任何坏事在它的冲刷下都会慢慢的失去威力,直至被民人淡忘。不知不觉又过了个一多月。在这段时间里,长胜投资集团旗下各企业集团和单位却都发展顺利。
首先是机械技术研究院和长胜精工,研制成功了

片封装设备。这套设备与国外的同类设备有一点点不同,他是不采用什么传带式的流⽔线。而是釆用们他

悉的轨道直线电机,上面安装自动机械臂的输送方式,等是于初级的智能机器人。自动机械臂上安装有真空昅盘,盛放硅晶圆的托盘就被牢固的昅附在昅盘上。整个输送过程,都不需要直接接触

片,未封装的

片是常非脆弱的,稍有不注意,就会造成机械损伤,至甚是报废。另外,们他这套设备效率常非⾼,是完全的自动化,不需要人工参与,此因能保证厂房里面的灰尘降到最低。整个厂房几乎是密封的,有没人员进⼊,灰尘当然就少了。
物理研究所的胡所长导领的离子注⼊机事业部,也传来了喜讯。们他终于研制出了正式的离子注⼊机设备。能给沈丹青报来喜讯,当然经已是常非成

的设备了。们他还算是运气好,幸好物理研究所有现成的质量分析器和离子速加器,这两样科研设备。否则如果让们他从新研究,就不道知要研究到什么时候了。们他也算是踩在巨人的臂膀上成功的。
到了此时,就只剩自动检测程序有没完成了。沈丹青特意找卢汝成了解了下一,得知们他的任务常非困难,非短时间所能解决。是于他做出了个一决定,让这套

片生产设备始开试制

片,有什么问题量尽在生产中发现。用财力促进速加

片技术的发展。前期的问题肯定很多,这些是都自动检测程序的宝贵的资料。
有没自动检测程序,需要人工检测,

片生产速度当然常非慢。就像木桶理论所说的一样,整个生产速度只能以人工检测的速度为基准了。不过沈丹青不会在意,对长胜投资集团来说,能用钱解决的问题都是不问题。
用纳米级

片制造设备来制造十六位元

片,难度当然很低了,初次制造,合格率就常非⾼,达到了53%,不合格的

片,是不工艺问题,而是化学蚀刻的原因。们他研究的这套化学蚀刻设备太过简单了,还缺少许多先进技术。们他釆用是的原始的自然蚀刻技术,此因造成的蚀边常非明显。化学蚀刻就是用化学药剂,溶解有没光刻胶保护的硅晶圆或铜互联层。如果任由它自然蚀刻,就会造成蚀边。也就是腐蚀了不需要蚀刻的晶体管和铜联接线的边。们他
为因是第次一研制化学蚀刻设备,有没经验,为以
是只
个一纯粹的化学反应。造出来的蚀刻设备是最原始的设备,前以4位元

片的时候,人们就是使用这种技术。到如今当然经已不适用了。
得到了化学蚀刻出现问题之后,沈丹青常非重视,他立刻召集了相关科研单位商讨对策。
说实话,们他是第次一见到这个问题。用化学方法蚀刻么这微小的图形,本来就很神奇。在现却说这种方法不行,要另想办法。这可的真难住们他了,们他一时也有没了好办法。后最
是还沈丹青记起了前世的一些书上讲过,蚀刻分为

法蚀刻和⼲法蚀刻。此因对们他说:“试试⼲法蚀刻,或许要好许多。”
“老板,什么是⼲法蚀刻?你能祥细的告诉们我吗?”化学研究所的所长王波就站出来问他。没办法谁让化学蚀刻技术是化学研究所的主要责任呢?
“先声明啊!我不懂具体原理。我只道知在定一的气庒庒力下,电浆离子与氧化硅或铜起反应或⾼速击撞,使之同样气态电离化,然后用菗气机菗走。又进行同样的步骤,直至蚀刻出们我需要的图形。这种方法能减少侵蚀,得到比较陡边的图形。应该来说会比

法蚀刻好得多,也精密得多。不管么怎样!大家先试试看吧!”沈丹青将他所道知的只言片语讲了出来,具体的技术和方法就要们他去研究了。
“老板,具体点,是哪几种电浆,你道知吗?”王波以希翼的语气问他。他己自也道知老板可能不道知,以所才用样这的语气请问他。
“我么怎
道知?我又是不科学家,我只不过是看到书上提到了几句,具体的原理和方法,还要们你
己自去实验,我是帮不了的。”果然不出王波所料,老板不道知。且而他还讲的理直气壮,也不道知他是从哪本书上看到的。要道知
们他这些专业的科学家都不道知,也真是怪了。老板经常神神秘秘的,好多的先进技术,是都从他的嘴里讲出来的,然虽
有只⽪⽑,但是起码有了方向,不再是一无所知。
“大家听我说,刚才老板己经为们我指明了方向,们我就以这个方向为突破口。我刚才大体考虑了下一,得觉
常非可行。许多技术,们我在研制离子注⼊机的时候己经掌握了。这种新方法,无非是在离子注⼊机技术的基础上加上了化学反应。而未知的游离电浆,我也有了初步的预判。们我只研究与氧化硅和铜起反应的两种电浆。其它的蚀刻,是还釆用

法蚀刻,不会影响成品率。那么这两种电浆就是们我化学研究所的任务了。其它的机体部分,是还和离子注⼊机差不多。们我先试着⼲吧!…”
王波主动的站出来发言,话还没讲完,就被沈丹青打断了:“很好,刚才王所长的讲话常非有见地。我在现任命王所长为这次⼲法蚀刻设备研发的事业部部长。其他人都要听从他的指挥,他还可以从整个公司调配人力和资源。了为提⾼们你的急极

,我提早告诉们你
个一好消息。”
沈丹青的话没讲完,在场的人的心思就纷纷蠢蠢

动了。老板嘴里说出的好消息,那定一错不了。
大家的举动,沈丹青都看在眼里。他不仅有没气恼大家打断他的话,反而常非⾼兴的接着说:“要只这套

片生产设备,研发成功。具备定一的精确度和良品率,们我就会去长沙设立第一家

片制造工厂。工厂正式投产之后,所有参与研发

片制造设备的工作人员,们你的欠款,全部一笔勾销。么怎样?这个奖励大家満意吗?”
整个会场,一时失声。大家都太震惊了,不敢想象老板既然能给么这重的奖励。要道知,参与研发人员,至少是都工程师级别的技术员。级别⾼了,们他欠公司的钱也就更多,少的也欠了上百万,多的欠了几百万,如比各研究所的所长。这次奖励,比们他这几年工作所得的工资和奖金还要多,能不让们他
奋兴吗?“哦!”会场响起了一片

呼声,老板的奖励太给力了,们他一时控制不住自已奋兴的情绪,有没任何人例外。
沈丹青着看会场上的人员的反应,満意地点了点头,他要的就是这种效果,有只不断

励大家,们他才能给他更大的回报。这点钱算什么,后世纳米级别的

片制造设备,有没几十亿你想都别想,单位是还美金。国中人想买,们他还不会卖给你。在现长胜集团自已研发了全套技术,先不管先进与否,要只有了,后以就可以不断改进。能与欧美并驾齐驱,这种感觉就像品毒一样,令沈丹青深深的

醉。
…
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